Rizman, Zairi Ismael and Yeap, Kim Ho and Miskon, Mohamad Taib and Mohd Fauzi, Fadhli Dzul Hilmi and Fadzal, Nazuha and Mohamad, Norizan
(2013)
Simulasi fabrikasi dan pencirian elektrik 90nm NMOS menggunakan perisian SILVACO / Zairi Ismael Rizman ... [et al.].
e-Academia Journal, 2 (2).
pp. 92-109.
ISSN 2289 - 6589
Official URL: https://e-ajuitmct.uitm.edu.my/v3/
Abstract
Kertas penyelidikan ini menerangkan tentang kaedah merekabentuk 90nm semikonduktor logam oksida jenis-n, NMOS (N-Type Metal Oxide Semiconductor) menggunakan perisian SILVACO. Simulasi fabrikasi 90nm NMOS dilakukan dengan menggunakan modul ATHENA, manakala kajian ciri-ciri elektrik pula dilakukan dengan menggunakan modul ATLAS. Demi memperolehi pencirian elektrik yang sahih, peraturan penskalaan telah diaplikasikan. Peraturan penskalaan medan tetap telah digunapakai di dalam parameter-parameter seperti panjang saluran efektif.
Metadata
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Creators: | Creators Email / ID Num. Rizman, Zairi Ismael zairi576@tganu.uitm.edu.my Yeap, Kim Ho yeapkh@utar.edu.my Miskon, Mohamad Taib moham424@tganu.uitm.edu.my Mohd Fauzi, Fadhli Dzul Hilmi fadhlidzul@tganu.uitm.edu.my Fadzal, Nazuha nazuha@tganu.uitm.edu.my Mohamad, Norizan norizanm@tganu.uitm.edu.my |
| Subjects: | Q Science > QC Physics > Electricity and magnetism > Electricity > Electric current (General) > Electric conductivity > Semiconductor physics |
| Divisions: | Universiti Teknologi MARA, Terengganu > Dungun Campus > Faculty of Electrical Engineering |
| Journal or Publication Title: | e-Academia Journal |
| UiTM Journal Collections: | UiTM Journal > e-Academia Journal (e-AJ) |
| ISSN: | 2289 - 6589 |
| Volume: | 2 |
| Number: | 2 |
| Page Range: | pp. 92-109 |
| Keywords: | NMOS, 90nm, SILVACO, ATHENA, ATLAS |
| Date: | 2013 |
| URI: | https://ir.uitm.edu.my/id/eprint/82941 |
- Edit Item
![[thumbnail of 82941.pdf]](https://ir.uitm.edu.my/style/images/fileicons/text.png)
